| 유량조절 | MFC에 의한 zero / span gas 유랑조절 |
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| 희석 Air 공급(ZERO) | 0 ~ 10 SLPM |
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| 교정 가스 공급 | 0 ~ 100 SCCM, 0 ~ 50 SCCM(사용자 선택 사양) |
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| 유량 정밀도 | ±0.5% of full scale 이내 |
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| 유량조절 반복성 | ±0.25% of full scale 이내 |
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| 유량조절의 직선성 | ±0.25% of full scale 이내 |
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| 교정용 가스 입력 포트 | 3 포트 |
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| 희석 Air 공급 포트(SUS 재질) | 1 포트 |
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| 교정용 가스 배출 포트 | 4 포트 |
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| 표출 방법 | 7인치 풀컬러 그래픽 터치 LCD(한국어, 영어, 중국어 선택 가능) |
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| 운영 온도(temperature) | 5 – 40°C |
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| 전원 | 220VAC/60Hz, 230VAC/50Hz, 110VAC/60Hz(사용자 주문 선택) |
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| 오존 발생 장치 및 광학 모듈 | 오존 출력 범위 : 0.1~5 ppm |
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| 오존 발생 응답시간 : 60 초 이내 (T95) |
| 오존 발생 응답시간 : 60 초 이내 (T95) |
| 오존 측정 신호(signal) 표출(ref/mea) |
| 오촌 광학벤치셀 (Bench Cell) 30cm 이상 |
| 교정가스 | (NO, CO, SO₂ 등 – 혼합 가스), 레귤레이터 포함 |
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