MFC 기반 유량 제어
GDS-110은 질량 유량 컨트롤러(MFC)의 조합을 사용하여 CAL GAS와 ZERO GAS의 유량을 제어합니다.
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Gas Dilution System
GDS-110은 정밀 질량 유량 컨트롤러(MFC)를 기반으로 CAL GAS와 ZERO GAS(N2)를 희석하여 사용자가 필요로 하는 농도의 교정용 가스를 제공하는 가스 희석 교정 시스템입니다.
Product Overview
GDS-110은 CAL GAS Inlet과 ZERO GAS Inlet을 각각 사용하여 ZERO GAS(N2)를 CAL GAS와 희석하고, Sequence-M, Sequence-A, Auto, Manual의 4가지 운전 모드를 지원합니다.
GDS-110은 질량 유량 컨트롤러(MFC)의 조합을 사용하여 CAL GAS와 ZERO GAS의 유량을 제어합니다.
Touch Graphic LCD를 통해 장비의 운전 상태, 희석 농도, 유량 및 밸브 상태를 확인하고 조작할 수 있습니다.
Sequence-M, Sequence-A, Auto, Manual 모드를 선택하여 사용 조건에 맞는 희석 작업을 수행할 수 있습니다.
희석 전후 ZERO GAS(N2)를 이용해 내부 배관에 잔류할 수 있는 가스를 세척하고 Vent로 외부 배출할 수 있습니다.